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在線質譜儀|分子泵機組|真空計校準系統

在線質譜儀的圖形輸出是質譜圖。質譜圖是以離子強度為橫坐標、離子質量電荷比為縱坐標的峰形分布圖。每種化學物質都有其獨特的質譜特征，不同儀器對同一種物質也會產生略有差異的譜圖。離子源、質量過濾器、檢測器的特性，以及樣品進入質譜儀的方式都會影響最終生成的譜圖。純物質很少能獲得完整的質譜圖，多數情況下（尤其是殘余氣體分析儀），所獲得的譜圖通常是構成實際樣品的各成分物質的復合譜圖。下圖展示了空氣的質譜...

質譜定量分析（計算分壓）分壓是指氣體混合物中某一特定組分的壓力值。根據道爾頓定律，所有分壓之和等于總壓力。分壓分析儀的設計原理是：質譜圖中峰的高度與產生該峰的離子數量成正比。在特定操作壓力范圍內，產生的離子數量大致與該物質的分壓成正比。因此，峰的高度與產生該峰的物質分壓成正比。公式[4]展示了通過測量質量b處的離子電流來測定物質a的分壓關系：PPa =物質a的分壓；Kab =物質a在質量b處...

RGA組成及工作原理1. 工作原理 封閉式離子源（CIS）分析儀通過采集代表性工藝氣體樣本，將其導入殘留氣體分析儀（RGA）的電離區域。該設備采用固定幾何結構的泵入通道，通過持續降低工藝氣體壓力至渦輪分子泵，實現氣體采樣與流動控制。檢測到的工藝氣體雜質含量顯著低于開放式離子源RGA分析儀——對于多數成分而言，其檢測限可低至亞ppm級別。 2 傳感器傳感器由三大核心組件構成：離子源（電離器...