立諦微真空系統（湖北）有限公司

在線質譜儀|分子泵機組|真空計校準系統

文章圍繞真空封管機與分子泵機組展開。傳統真空獲取方式有抽速慢等問題，分子泵機組可助力真空封管機“秒抽”，多個案例證明其能提高生產效率與實驗準確性。選擇兩者組合要考慮真空度、抽氣速度、穩定性、價格等因素。未來，它們在技術、應用、市場方面都有新趨勢。立諦微推出的桌面油式分子泵機組Turbolab 90i/RD4 Core，有抽速快、智能控制、安全穩定等優勢，適用于真空封管。

在半導體蝕刻等實驗中，對微小氣體流量的精密控制很關鍵，傳統質量流量控制器或普通閥門難以滿足極微小、穩定且無污染的氣體注入需求，存在控制不精細等痛點。VAT全金屬微漏閥是解決方案，它融合密封與機械工藝，有精細調節、全金屬密封、可靠性高、耐高溫耐腐蝕等優勢，適用于半導體制造、前沿科研等場景，能助用戶精準控制微小流量，提升產品良率與實驗成功率。

在尖端科研與高端制造領域，高真空環境很重要，但傳統調節真空度手段存在諸多痛點。VAT/萊寶全金屬微漏閥應運而生，它解決了高真空系統精密調節的難題。該閥核心優勢突出，能實現精密控制，采用全金屬密封，可靠性高、壽命長，耐高溫且適用性廣。其適用于科研實驗、半導體制造、材料鍍膜、校準與測量等場景。它為真空度控制帶來變革，是提升工藝水平的關鍵伙伴。

在線質譜儀如何定量校準真空爐內氣體組分？一、概述將在線質譜儀與高溫真空爐（工作總壓0.1 Pa）通過長加熱管路聯用，定量測量H?、H2O、N?、CO、CO?的分壓，需采用動態流導法結合原位相對靈敏度因子（RSF）校準。以下是具體校準步驟，特別針對高溫、低氣壓及長傳輸管路挑戰： 二、核心挑戰與應對1. 高溫（>1000℃）：氣體會與爐壁/樣品反應，需確保校準氣體在高溫下穩定。2. 低總壓（...

在線質譜儀在真空爐應用中如何定量分析根據質譜圖定量推算真空爐內各組分的分壓，需結合質譜儀的定量分析原理和系統結構。以下是關鍵步驟和注意事項：一、核心原理? 質譜信號與分壓的關系質譜儀檢測的是離子流強度 Ii（單位：nA 或 cps），與氣體分壓 Pi近似成正比：Ii=Si*Pi Si 是組分Ii的靈敏度系數（單位：nA/Pa 或 cps/Pa），需通過校準獲得。 ? 總壓與分壓的關系腔...

在線質譜儀在原子層沉積（ALD）工藝中是一個強大的過程診斷和監控工具，它能實時檢測反應腔室內的氣體成分變化，揭示反應機理、端點檢測和工藝異常。然而，要有效利用它并獲取可靠數據，需要特別注意以下幾個關鍵問題： 1.采樣延遲與時間分辨率： 問題： ALD循環通常很短（秒級）。質譜儀通過采樣毛細管從反應腔抽取氣體，經管路傳輸到離子源，這個物理過程必然存在延遲。同時，質譜掃描/檢測也需要時間。 影響...

四極桿質譜儀分析N?和 CO 組分確實存在挑戰，因為它們具有相同的標稱分子量（28 Da），產生的分子離子峰（N??和 CO?）在質譜圖上都出現在 m/z 28 處。這使得僅依靠 m/z 28 的強度無法區分兩者。不過，通過利用它們在質譜行為上的細微差別和一些策略，仍然可以進行區分和定量分析。以下是主要的分析方法和思路：1. 利用碎片離子峰：CO (一氧化碳): ...

當在線質譜儀需要分析腐蝕性氣體（如HCl、HF、Cl?、H?S、SO?、強氧化性氣體等）時，必須采取系統性防護措施，否則會嚴重損壞離子源、四極桿、探測器等核心部件。以下是關鍵保護策略和實施方案： 一、核心防護原則l 降低濃度：減少進入質譜室的腐蝕性氣體分壓；l 物理隔離：阻止腐蝕物接觸敏感部件；l 材料兼容：流路選用耐腐蝕材料；l 主動攔截：通過化學反應或吸附去除腐蝕物；l 控制工況：避免冷...